离子束抛光机

2017年11月10日 | 企业风采


离子束抛光机主要用于高精度光学元件的面形精修,利用离子源发射出的离子束在真空中轰击被加工表面,可以实现原子量级的材料去除,具有面形收敛速度快、无边缘效应和亚表面损伤等特点,保证最终的面形精度要求。

公司引进了德国NTG公司的IBF500离子束抛光机,具有3轴数控系统,通过高精度干涉检测指导加工,可以对多种光学材料,平面、球面、非球面等多种类型光学表面进行精确修正,加工元件口径可达Φ500mm,面形精度RMS值λ/50~λ/100(λ=632.8nm)。