4D干涉仪

2017年11月10日 | 仪器设备   浏览次数 : 8195次

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4D干涉仪是光学系统成像质量、光学零件面形检测的装置。该设备采用偏振光干涉原理,将传统相移干涉仪的时间域相移转换为空间域相移,并采用独创的相位相关的CCD技术,是的一个CCD帧频内就可以实现全分辨率的测量,因此能有效克服外界干扰,避免环境振动、气流扰动等不利因素的影响,更加高效、准确地测试光学零件面形及光学系统波前。是光学单件检测、光机系统装配检测过程中必不可缺少的精密检测设备。

技术指标:

1)4D干涉仪光源:稳频HeNe激光,波长632.8nm,相干长度>100m

2)CCD分辨率:≥1k×1k像素;

3)测试光口径:9mm

4)RMS测量精度:<0.002λ(λ=632.8nm);

5)RMS重复精度<0.001λ(λ=632.8nm);