ZYGO干涉仪

2017年11月10日 | 仪器设备   浏览次数 : 8079次

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Zygo干涉仪是运用相移干涉原理,能够进行高精度的平面面形、球面面形、光学系统波前检测分析的仪器。是光学单件检测、光机系统装配检测过程中必不可缺少的精密检测设备。

主要技术指标:

1)主机口径为4英寸;

2)光源:采用稳频激光;

3)CCD分辨率:≥1k×1k像素;

4)镜头:配备了F/0.65F/1.5F/3.3F/7.2F/11等平面四种标准镜头;

5)设备精度PV 0.01λ;

6)设备精度RMS0.002λ;

7)重复测量精度PV0.02λ;

8)重复测量精度RMS0.004λ;